«Швабе» усовершенствовал процесс изготовления меза-элементов

Ученые предприятия Холдинга «Швабе», входящего в Госкорпорацию Ростех, модернизировали процесс изготовления меза-элементов матрицы фотоприемных устройств (МФПУ).

Специалисты предприятия Холдинга «Швабе» – ГНЦ РФ АО «НПО «Орион» разработали технологию для изготовления элементов матрицы в новом качестве. В составе авторов проекта – начальник участка Михаил Седнев, начальник научно-технического комплекса Константин Болтарь, а также ведущий инженер Юрий Шаронов и начальник участка Алексей Лопухин.

В своем исследовании специалисты проанализировали процессы формирования меза-элементов матрицы методом жидкостного травления и травления ионами интерного газа. Процесс представляет собой превращение плоской слоистой полупроводниковой пластины в массив меза-элементов матрицы, разделенных узкими областями (канавками) на необходимую глубину.

«Перед нами стояла задача – усовершенствовать процесс изготовления меза-элементов, из которых состоят матрицы фотоприемного устройства – это одно из важных направлений микрофотоэлектроники. В настоящее время разработка внедрена в производство современных матриц фоточувствительных элементов с шагом 30 мкм и матриц мегапиксельного формата, что соответствует последним тенденциям развития отрасли», – прокомментировал специалист ГНЦ РФ АО «НПО «Орион».

Сотрудники «Швабе» исследовали структуры с плоской поверхностью и с островками напыленной метализации. Анализ неровностей и шероховатостей осуществлялся на специальных приборах – конфокальном и контактном профилометрах. В результате ученые установили, что именно сочетание ионного и жидкостного травления позволяет получать приемлемые результаты при создании мезаструктур МФПУ.

Сегодня новая технология используется при выполнении опытно-конструкторских работ предприятия в области изготовления матриц фотоприемных устройств (МФПУ) ультрафиолетового и ближнего инфракрасного диапазонов спектра, в том числе матриц мегапиксельного формата.

Результаты научного эксперимента ученые опубликовали в статье «Ионно-лучевое травление для формирования мезаструктур МФПУ» в журнале «Прикладная физика».

Государственный научный центр РФ АО «НПО «Орион» – это ведущая организация России в области развития фотоэлектроники. Разработанные на его базе устройства и компоненты широко применяются в ядерной энергетике, космической отрасли, нефтегазовом секторе, медицине и других областях. Деятельность предприятия относится к приоритетным направлениям развития науки, технологий и техники в Российской Федерации.

Холдинг «Швабе» объединяет основные предприятия оптико-электронной отрасли России. В его состав входят 64 организации, в том числе научно-производственные объединения, конструкторские бюро, оптические институты, а также сервисно-сбытовые компании. Холдинг разрабатывает и производит высокотехнологичные оптико-электронные системы и комплексы, оптические материалы, медицинское оборудование, энергосберегающую светотехнику и другие виды продукции. Холдинг входит в Государственную корпорацию «Ростех», крупнейшие предприятия «Швабе» входят в Союз машиностроителей России.

Госкорпорация Ростех – российская корпорация, созданная в 2007 г. для содействия разработке, производству и экспорту высокотехнологичной промышленной продукции гражданского и военного назначения. В ее состав входят 663 организации, из которых в настоящее время сформировано 9 холдинговых компаний в оборонно-промышленном комплексе и 6 – в гражданских отраслях промышленности, а также 32 организации прямого управления. В портфель Ростеха входят такие известные бренды, как АВТОВАЗ, КАМАЗ, «Вертолеты России», ВСМПО-АВИСМА и т. д. Организации Ростеха расположены на территории 60 субъектов РФ и поставляют продукцию на рынки более 70 стран. Выручка Ростеха в 2014 г. составила 964,5 млрд рублей. Общая сумма налоговых отчислений составила 147,8 млрд руб.